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石墨Sic涂层

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(聚丙烯睛基,PAN基)碳毡和石墨毡优质聚炳烯睛基炭毡,经 过预氧.炭化,高温纯化,可作为高温真空炉的隔热保温材料, 也是抗腐蚀的过滤材料O
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Sic涂层,产品厚度均匀性好、致密性较好,化学配比性好、性能比较稳 定,导热系数高,热膨胀系数小,具有阻氧、阻碳、耐压、耐磨、自润 滑、无挥发、抗热震、抗烧蚀等优良性能。该涂层能够提高产品质量, 极大的延长部件使用寿命。用于氢化炉的部件,CZ装置的导流筒和用于 PECVD, MOCVD装置的晶片载体。
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1000
关键字:
涂层
装置
系数
部件
用于
性能
挥发
使用寿命
致密
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