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Sic涂层

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石墨Sic涂层
Sic涂层,产品厚度均匀性好、致密性较好,化学配比性好、性能比较稳 定,导热系数高,热膨胀系数小,具有阻氧、阻碳、耐压、耐磨、自润 滑、无挥发、抗热震、抗烧蚀等优良性能。该涂层能够提高产品质量, 极大的延长部件使用寿命。用于氢化炉的部件,CZ装置的导流筒和用于 PECVD, MOCVD装置的晶片载体。
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关键词:
涂层
装置
系数
部件
用于
性能
挥发
使用寿命
致密
产品描述

Sic涂层,产品厚度均匀性好、致密性较好,化学配比性好、性能比较稳 定,导热系数高,热膨胀系数小,具有阻氧、阻碳、耐压、耐磨、自润 滑、无挥发、抗热震、抗烧蚀等优良性能。该涂层能够提高产品质量, 极大的延长部件使用寿命。用于氢化炉的部件,CZ装置的导流筒和用于 PECVD, MOCVD装置的晶片载体。

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